专利名称:处理熔融硅的坩埚专利类型:发明专利发明人:G·兰克勒
申请号:CN200780003063.0申请日:20070112公开号:CN101370968A公开日:20090218
摘要:本发明涉及处理熔融硅的坩埚,所述坩埚包含具有限定内部容积的底面和侧壁的基体。依据本发明,该基体包含至少65重量%的碳化硅和12-30重量%的选自氧化硅或氮化硅的组分。而且,不同于现有技术的坩埚,至少在限定所述坩埚的内部容积的表面包含至少一层氧化硅和/或氮化硅的涂层,所述坩埚可使用数次而无物理完整性的任何可见劣化。
申请人:维苏威克鲁斯布公司
地址:美国特拉华
国籍:US
代理机构:中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人:李帆
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