（12）发明专利申请
（21）申请号 CN200810162544.2 （22）申请日 2008.11.21
（71）申请人 浙江瑞迪硅谷新能源科技有限公司
地址 325200 浙江省瑞安市飞云镇下厂村
（10）申请公布号 CN101435106A
（43）申请公布日 2009.05.20
（72）发明人 李国迪;谈志俊;蒋明霞
（74）专利代理机构 瑞安市翔东知识产权代理事务所
代理人 陈向东
（51）Int.CI
C30B29/06; C30B15/00;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种单晶硅棒的生产工艺及设备
（57）摘要
本发明公开了一种单晶硅棒的生产工艺，
包括分选、清洗、配料、装炉、化硅、降温、缩颈、放肩、转肩、等径生长、收尾、取出晶棒工序，其特征在于：该单晶硅棒生产工艺在取出晶棒工序后还进行二次投料工序，二次投料工序后是取出投料装置工序，然后在引晶装置上装上籽晶，将籽晶放入副室，合上副室，将副室抽成真
空，打开翻盖阀门，打开副室氩气阀，关闭主室氩气阀，再次进行化硅、降温、缩颈、放肩、转肩、等径生长、收尾、取出晶棒工序，最后停炉。本发明可以在不停炉情况下连续生产多根单晶硅棒，节省石英坩锅用量、节约能耗。另外，本发明还公开了一种实施上述生产工艺的单晶炉设备。
法律状态
法律状态公告日2009-05-20 2009-07-15 2011-10-12
法律状态信息
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
权利要求说明书
一种单晶硅棒的生产工艺及设备的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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