（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201510828671.1 （22）申请日 2015.11.24
（71）申请人 上海和辉光电有限公司
地址 201506 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
（10）申请公布号 CN106756801A
（43）申请公布日 2017.05.31
（72）发明人 张耀宇;洪忠庆
（74）专利代理机构 上海申新律师事务所
代理人 俞涤炯
（51）Int.CI
C23C14/24; C23C14/04; C23C14/54;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种蒸镀设备及蒸镀工艺
（57）摘要
本发明涉及OLED器件制造技术领域，尤
其涉及一种蒸镀设备及蒸镀工艺，预先模拟出来磁板压合机构对于遮罩所造成的变化，并形成标准状态参数，通过检测装置检测真空状态下的，所述可移动遮罩于所述磁压合装置形成的所述磁场作用下的状态参数，并形成一检测状态参数输
出；控制单元根据所述检测状态参数形成所述调节信号输出。磁压合装置、可移动遮罩在调节信号的作用下做相应的调整，使得磁压合装置、可移动遮罩处于最佳位置，避免在真空状态下，磁压合装置、可移动遮罩产生不可控变量，降低蒸镀产品的蒸镀品。
法律状态
法律状态公告日2017-05-31 2017-05-31 2017-06-23 2017-06-23 2020-05-08
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回法律状态
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回
权利要求说明书
一种蒸镀设备及蒸镀工艺的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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