专利名称：一种薄膜体声波谐振器及其制造方法专利类型：发明专利
发明人：李平,祝明国,王小茹,孙成龙,彭波华,胡念楚,贾斌申请号：CN201610105128.3申请日：20160225公开号：CN105680813A公开日：20160615
摘要：本申请公开了一种薄膜体声波谐振器(FBAR)，是在衬底的上方具有空腔，在空腔的上方还具有下电极、上电极以及位于两者中间的压电层。所述空腔是先填充牺牲层再移除牺牲层而得到的，并且牺牲层采用能够被氧等离子体刻蚀工艺去除的材料；所述下电极、上电极和/或电极引出端采用铝、铜或铜铝合金的一种或多种。本申请还公开了FBAR的制造方法，采用铝、铜或铜铝合金作为互联金属形成电极引出端，并采用氧等离子体刻蚀(OPlasma)工艺去除牺牲层而形成FBAR的空气隙。本申请降低了制造成本，提高了薄膜体声波谐振器的可靠性，体现环境友好性。
申请人：锐迪科微电子(上海)有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江高科技园区碧波路690号四号楼6F
国籍：CN
代理机构：北京酷爱智慧知识产权代理有限公司
代理人：殷晓雪
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