专利名称：真空排气系统用阀专利类型：发明专利
发明人：大见忠弘,池田信一,山路道雄,北野真史,森本明弘申请号：CN200480004084.0申请日：20040209公开号：CN1748102A公开日：20060315
摘要：本发明提供一种阀，这种阀能够与旨在实现真空排气系统的设备的小型化并由此降低成本和缩短真空排气时间的真空排气系统配管的小口径化相适应，并能够防止由气体分解产生的离解生成物的堆积所导致的内部的腐蚀、堵塞、阀座泄漏等。具体地说，将铝钝态用于在真空排气系统中使用的阀等配管零件，来抑制因烘焙时的温度升高而引起的气体分解，从而提供与真空排气系统的小口径化相适应的零件，特别是使得不会因气体分解产生的生成物的堆积而发生腐蚀、堵塞、阀座泄漏等。
申请人：株式会社富士金,大见忠弘
地址：日本大阪府
国籍：JP
代理机构：中国专利代理(香港)有限公司
代理人：温大鹏
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