专利名称：一种薄膜体声波谐振器及其制造方法专利类型：发明专利发明人：隋欢,齐飞,杨国煌申请号：CN201910656067.3申请日：20190719公开号：CN112039479A公开日：20201204
摘要：本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法，其中薄膜体声波谐振器包括：第一衬底；键合于第一衬底上的支撑层；形成于支撑层的第一空腔；位于支撑层上的压电叠层结构；形成于压电叠层结构的第一沟槽和第二沟槽；压电叠层结构上的介质层；形成于介质层中的第二空腔；第一沟槽与第一空腔连通，第二沟槽与第二空腔连通，覆盖第二空腔的第二衬底。本发明中沟槽结构有效阻断了横波从有效工作区中传出，改善了声波损耗，使薄膜体声波谐振器的品质因子得到提高，同时，带有上部封装盖结构的薄膜体声波谐振器有效解决了暴露在上部空间的各层免受外部环境的污染问题，整体提高了器件的性能。
申请人：中芯集成电路(宁波)有限公司
地址：315803 浙江省宁波市北仑区小港街道安居路335号3幢、4幢、5幢
国籍：CN
代理机构：北京思创大成知识产权代理有限公司
代理人：张立君
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